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顯微測量儀
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中圖儀器NS200國產臺階儀采用接觸式表面形貌測量,對測量表面反光特性、材料種類、材料硬度都沒有特別要求,樣品適應面廣,數據復現性高、測量穩定、便捷、高效,是微觀表面測量中使用廣泛的微納樣品測量手段。
中圖儀器NS200臺階儀搭載線性可變差動電容傳感器(LVDC),13μm量程下實現0.01埃分辨率,5Å超高解析力,精準捕捉抗蝕劑臺階從納米級到1050μm的細微形貌,匹配光刻膠、抗蝕劑等精密材料的測量要求。
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